उत्पत्ति के प्लेस:
चीनी
ब्रांड नाम:
KACISE
प्रमाणन:
CE
मॉडल संख्या:
KGD-MQ-536
केजीडी - एमक्यू - 536 इन्फ्रारेड गैस सेंसर
उत्पाद का परिचय
केजीडी-एमक्यू-536 इन्फ्रारेड गैस सेंसर गैर-विसारक इन्फ्रारेड (एनडीआईआर) तकनीक पर आधारित है। यह डब्ल्यूएफ6, सीएफ4, एसएफ6, एनएफ3,और अर्धचालक अनुप्रयोगों में उत्पन्न CO2यह उपकरण के भीतर सामान्य पूर्व निर्धारित आयामों, फ्लैंग्स और संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है। इसका उपयोग अर्धचालक जमा और सफाई प्रक्रियाओं में एंडपॉइंट का पता लगाने के लिए किया जा सकता है।साथ ही कक्ष सफाई के लिए टर्मिनल का पता लगाने, जो सफाई के समय को कम करने, लागत में कटौती करने और उत्पादन बढ़ाने में मदद करता है।
उत्पाद की विशेषताएं
तकनीकी मापदंड
| पैरामीटर | विवरण |
| पता लगाने का सिद्धांत | एनडीआईआर |
| पता लगाई गई गैसें | WF6, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| माप सीमा | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| पुनरावृत्ति | ±0.5% |
| रैखिकता | ± 1% एफ.एस. |
| पता लगाने की सीमा | 1 पीपीएम |
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