उत्पत्ति के प्लेस:
चीनी
ब्रांड नाम:
KACISE
प्रमाणन:
CE
मॉडल संख्या:
KGD-MQ-537
| विशेषता | मूल्य |
|---|---|
| पहचान सिद्धांत | NDIR |
| पहचाने गए गैसें | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| मापन रेंज | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| पुनरावृत्ति | ±0.5% |
| रैखिकता | ±1%F.S. |
| पहचान सीमा | 1ppm |
KGD - MQ - 537 इन्फ्रारेड गैस सेंसर नॉन-डिस्पर्सिव इन्फ्रारेड (NDIR) तकनीक पर आधारित है। यह अर्धचालक अनुप्रयोगों में उत्पन्न होने वाली गैसों जैसे SiF4, CF4, SF6, NF3, और CO2 को सटीक रूप से माप सकता है। यह उपकरण के भीतर सामान्य पूर्व-निर्धारित आयामों, फ्लैंज और संचार प्रोटोकॉल के साथ संगत है। इसका उपयोग अर्धचालक जमाव और सफाई प्रक्रियाओं में अंतिम बिंदु का पता लगाने के साथ-साथ चैंबर सफाई के लिए टर्मिनल का पता लगाने के लिए किया जा सकता है, जिससे सफाई का समय कम करने, लागत कम करने और उत्पादन बढ़ाने में मदद मिलती है।
| पैरामीटर | विवरण |
|---|---|
| पहचान सिद्धांत | NDIR |
| पहचाने गए गैसें | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| मापन रेंज | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| पुनरावृत्ति | ±0.5% |
| रैखिकता | ±1%F.S. |
| पहचान सीमा | 1ppm |
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