उत्पत्ति के प्लेस:
चीनी
ब्रांड नाम:
KACISE
प्रमाणन:
CE
मॉडल संख्या:
KGD-MQ-537
KGD-MQ-537 इन्फ्रारेड गैस सेंसर सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में SiF4, CF4, SF6, NF3 और CO2 सहित गैसों को सटीक रूप से मापने के लिए गैर-फैलाने योग्य इन्फ्रारेड (NDIR) तकनीक का उपयोग करता है। सामान्य उपकरण आयामों, फ्लैंज और संचार प्रोटोकॉल के लिए अनुकूलता के साथ डिज़ाइन किया गया, यह सेंसर सेमीकंडक्टर जमाव और सफाई प्रक्रियाओं में एंडपॉइंट का पता लगाने के साथ-साथ चैम्बर की सफाई के लिए टर्मिनल का पता लगाने के लिए आदर्श है, जो सफाई के समय को कम करने, लागत में कटौती और उत्पादन बढ़ाने में मदद करता है।
| पैरामीटर | विवरण |
|---|---|
| पता लगाने का सिद्धांत | एनडीआईआर |
| गैसों का पता चला | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| मापने की सीमा | 1-264पीपीएम (0-200mTorr) |
| repeatability | ±0.5% |
| रैखिकता | ±1% एफएस |
| पता करने की सीमा | 1पीपीएम |
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